搜索到 篇“ MEMS微结构 “的相关文章

相关作者

佘东生
作品数：121被引量：70H指数：6
供职机构：渤海大学
研究主题：MEMS微结构 平行度误差 压电陶瓷 力测量 三轴式
伦淑娴
作品数：144被引量：539H指数：11
供职机构：渤海大学
研究主题：MEMS微结构 平行度误差 压电陶瓷 力测量 套筒
魏泽飞
作品数：53被引量：21H指数：3
供职机构：渤海大学
研究主题：MEMS微结构 平行度误差 压电陶瓷 力测量 工作表面
于震
作品数：79被引量：33H指数：4
供职机构：渤海大学
研究主题：MEMS微结构 平行度误差 压电陶瓷 力测量 套筒
杨祯山
作品数：57被引量：151H指数：6
供职机构：渤海大学
研究主题：MEMS微结构 平行度误差 压电陶瓷 力测量 电梯