张菊芳
作品数: 46被引量:61H指数:4
  • 所属机构:中国科学院高能物理研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:北京市自然科学基金

相关作者

伊福廷
作品数:140被引量:132H指数:6
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 光刻 LIGA 微细加工 光刻胶
韩勇
作品数:62被引量:81H指数:5
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 微细加工 掩模 电火花加工 LIGA
彭良强
作品数:62被引量:113H指数:6
供职机构:中国科学院
研究主题:LIGA技术 微细加工 电火花加工 LIGA 微细电火花加工
黄军容
作品数:9被引量:29H指数:3
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 PMMA 微细加工 微细电火花加工 电火花加工
谢常青
作品数:508被引量:265H指数:8
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底