卢建平
作品数: 12被引量:5H指数:1
  • 所属机构:清华大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

洪啸吟
作品数:118被引量:632H指数:13
供职机构:清华大学
研究主题:无显影气相光刻 涂料 光固化 光刻 光刻胶
王培清
作品数:38被引量:32H指数:4
供职机构:清华大学
研究主题:无显影气相光刻 光刻胶 晶闸管 刻蚀 曝光量
陈永麒
作品数:14被引量:0H指数:0
供职机构:清华大学
研究主题:无显影气相光刻 半导体二极管 成膜物质 氮化硅 光刻胶
段生权
作品数:10被引量:19H指数:2
供职机构:清华大学
研究主题:无显影气相光刻 光刻胶 氮化硅 刻蚀 二氧化硅
陈明
作品数:19被引量:227H指数:6
供职机构:清华大学理学院物理系
研究主题:紫外光固化 丙烯酸酯 多元醇 光致抗蚀剂 环氧-丙烯酸酯