-
朱咸昌
-
-
- 所属机构:中国科学院光电技术研究所
- 所在地区:四川省 成都市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 胡松
- 作品数：472被引量：450H指数：9
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
- 赵立新
- 作品数：229被引量：74H指数：6
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
- 刘俊伯
- 作品数：101被引量：24H指数：3
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：光刻机 数值孔径 光刻 投影光刻机 掩模
- 吴时彬
- 作品数：166被引量：395H指数：12
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：激光跟踪仪 焦距 光学检测 微透镜阵列 光学元件
- 曹学东
- 作品数：93被引量：216H指数：9
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：焦距 微透镜阵列 焦距测量 自准直仪 光栅
