国家自然科学基金(60274041)
- 作品数：4 被引量：3H指数：1
- 相关作者：张平高福斌伦凤艳刘治华李成更多>>
- 相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林大学郑州大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
- 集成微光机械振动传感器芯片制作工艺研究
- 2006年
- 介绍了一种新型集成微光机械振动传感器的工作原理和芯片制作工艺。以聚甲基丙烯酸甲酯为结构材料,采用旋涂和干法刻蚀技术,实现了光波导集成光路和悬臂梁-质量块微机械结构在硅基底上的集成。详细讨论了高分子聚合物微器件制作工艺中的关键技术、工艺难点以及解决措施。
- 张平伦凤艳王淑荣高福斌
- 关键词：振动传感器聚甲基丙烯酸甲酯旋涂干法刻蚀悬臂梁
- M-Z型极化DANS聚合物电光波导强度调制器研究被引量：1
- 2006年
- 研究了Mach-Zehnder型极化聚合物电光波导强度调制器的制备工艺·器件采用DANS(4-dimethylamino-4′nitro-stlibene)聚合物为电光波导材料,由电光波导层、上下介质缓冲层、上下金属电极层构成五层波导结构·对五层光波导各层之间的光学、化学以及微加工工艺的相互兼容性进行了深入研究·采用紫外光漂白方法制备出侧壁光滑的条波导,采用钨丝电晕极化方法对DANS聚合物波导进行有效极化,使其具有电光特性·通过优化器件制备工艺,研制出工作波长为1300nm的M-Z型电光波导强度调制器原型器件·实验测得器件半波电压约为10V,调制带宽约为1GHz·
- 高福斌杜国同张平邢汝冰
- 关键词：电晕极化电光波导强度调制器
- 微光机械振动传感器的设计与制作
- 2006年
- 采用旋涂和干法刻蚀技术,制作了一种新型有机集成微光机械振动传感器,其主要结构是由在硅基上制作的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)悬臂梁和光波导集成光路组成,探测光路采用强度调制型开环差分探测,利用光-机转换功能,实现对微小振动量的检测。通过对该器件结构参数的优化设计和幅频特性分析表明,所制备的器件具有灵敏度高、线性度好、抗电磁干扰、工艺简单、成本低等优点。
- 伦凤艳张平高福斌贾宏光
- 关键词：振动传感器悬臂梁灵敏度
- 具有初始位移的两层转子结构复合材料储能飞轮的应力及位移分析被引量：2
- 2007年
- 因为两层转子结构飞轮一般是由内、外两层转子通过挤压组合而成,故在两层的接触面上就有初始位移。作者结合复合材料飞轮转子的结构特点,根据非均质各向异性弹性理论建立了转子的计算模型,得到带有初始位移的两层转子结构复合材料储能飞轮在工作转速情况下,应力和位移计算的解析公式,给出了任一点的径向、环向应力及径向位移。并按照所建立的计算模型对在不同转速时,不同的位置对径向、环向应力和径向位移的影响进行探讨。
- 李成刘治华张平
- 关键词：复合材料储能飞轮应力分布
