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天津市自然科学基金(10JCYBJC01000)

作品数：1 被引量：0H指数：0
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇数值模拟
  • 1篇热屏
  • 1篇热系统
  • 1篇SI
  • 1篇X
  • 1篇值模拟

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇韩焕鹏
  • 1篇刘锋

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Si_(1-x)Ge_x单晶用热系统改进
2013年
阐述了对原GaAs单晶拉制用LEC单晶炉热系统进行改造使其适于Si1-x Gex单晶生长的过程。借助数值模拟的方法分析了晶体生长区域内的温度分布情况,并通过分析发现了原有热系统的不足。重新对原热系统进行了改造,添加了起到保温和氩气导流作用的热屏和上保温装置,使原来的敞开式热场变为密闭式热场,满足了Si1-x Gex单晶拉制的要求。通过具体实验和数值模拟结合,分析了氩气流场及不同流场对晶体生长的影响,发现并改进了单晶炉的氩气供给装置存在的问题。
韩焕鹏刘锋
关键词：数值模拟热屏
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