国家科技重大专项(2009ZX02202)
- 作品数：3 被引量：21H指数：2
- 相关作者：于长淞向阳齐克奇张春雷更多>>
- 相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信理学更多>>
- 点衍射干涉仪小孔掩模技术研究进展被引量：5
- 2013年
- 在点衍射干涉仪中小孔掩模的主要作用是通过衍射产生接近理想的球面波用于干涉测量,其直径、圆度及三维形貌对测量精度有决定性影响。介绍了小孔掩模的结构与作用原理,对小孔衍射电磁场仿真技术进行了分类比较。对国内外现有小孔掩模加工技术的发展进行了归纳总结,阐述了聚焦离子束刻蚀、电子束曝光等加工技术的加工原理、加工精度及技术特点,指出了掩模对准精度对测量重复性的影响。分析了各种检测方法及存在的主要技术问题,并对小孔三维形貌的测量技术进行了展望。
- 于长淞向阳
- 关键词：光学器件波像差
- 点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究被引量：1
- 2012年
- 在点衍射干涉仪中小孔掩模的主要作用是衍射产生接近理想的球面波用于干涉测量,其直径、圆度及三维形貌对测量精度有决定性影响。分析了聚焦离子束刻蚀、电子束曝光等加工技术的加工原理、加工精度及技术特点。采用优质航空铝,利用单点金刚石机床和聚焦离子束设备,采用精密制备工艺,分别制备了小孔直径1.47μm和1.11μm的小孔掩模并利用扫描电子显微镜对其进行了检测。实验结果表明,聚焦离子束刻蚀是实现直径微米量级的小孔加工的有效手段,为获得较好的圆度和三维形貌,小孔掩模加工区域需保证较小的深径比。
- 于长淞
- 关键词：光学器件聚焦离子束扫描电镜
- 基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计被引量：15
- 2013年
- 基于光栅衍射的横向剪切干涉仪具有很高的检测精度,为满足相移的需要,光栅移相装置需要拥有较大的行程,是干涉仪的关键器件之一。根据干涉仪需求设计了基于柔性铰链及桥式放大机构并利用压电陶瓷驱动的光栅移相装置,利用有限元分析方法对其受力和形变特性进行了分析。利用PI公司的电容传感器及数字压电控制器搭建了测试平台对其进行了测试,获得了开环条件下迟滞特性曲线,在输出电压为100 V时,光栅移相装置的行程可达225μm。实验结果表明,光栅移相装置的行程与理论设计指标接近,满足设计要求。
- 于长淞齐克奇张春雷向阳
- 关键词：剪切干涉压电陶瓷
