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唐雯
作品数:
1
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供职机构:
天津大学精密仪器与光电子工程学院精密仪器工程系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
楚晓华
天津大学精密仪器与光电子工程学...
张国雄
天津大学精密仪器与光电子工程学...
金篆芷
天津大学精密仪器与光电子工程学...
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唐雯
1篇
金篆芷
1篇
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楚晓华
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1篇
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年份
1篇
1993
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三边测长法测量工件表面直线度误差
1993年
本文介绍一种工件表面直线度误差的高准确度测量原理。它的特点是:通过测量两个已知距离的固定原点分别到工件表面的距离来求得工件表面直线度误差。应用双频激光干涉仪测长装置,通过旋转平面反射镜进行光束跟踪,用电容测头瞄准工件进行测量。测量精度不低于0.4μm/m。
唐雯
楚晓华
张国雄
金篆芷
关键词:
直线度
形位公差
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