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林崴
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
东南大学
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自动化与计算机技术
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合作作者
牛蒙年
东南大学
袁璟
东南大学
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1995
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pH-ISFET传感器及其测量方法研究
被引量:2
1995年
在对pH-ISFET传感器参数及其输出特性分析的基础上,讨论了四种测量pH-ISFET传感器的模式和适用条件,以及实现差分测量的简单方法。在ISFET/REFET差分对结构测量中,以金膜作为辅助电极取代传统的甘汞参考电极仍得到较好的线性响应。
牛蒙年
袁璟
林崴
关键词:
PH-ISFET
传感器
测量方法
差分电路
背面引线压力/氢离子敏传感器的研究
1995年
报道了一种含微参比电极的差分结构,并可与其它敏感元和信号处理电路完全隔离的背面引线氢离子敏感场效应(pH-ISFET)新结构。基于硅的固相键合技术和硅微机械加工技术以及常规N阱MOS工艺,研制成集成压力/pH-ISFET传感器,设计制作了高稳定的可调芯片自恒温系统,经实际工艺流水制成了样管,初步的测量结果证实了这种背面引线、微参比电极、全集成的新结构设计是成功的。
牛蒙年
林崴
袁
关键词:
传感器
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