马农农
- 作品数：22 被引量：17H指数：3
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- 砷化镓中硅的二次离子质谱定量分析技术研究
- 韩象明刘容马农农李华邹庆生查良镇
- 该研究成果建立了一套完善的、对砷化镓材料中杂质和掺杂元素硅浓度微区分布的二次离子质谱定量分析系统。它适用于砷化镓器件和集成电路工艺研制中，对不同工艺条件下的注入硅的砷化镓晶片及分子束外延掺硅的砷化镓进行剖析测量。该分析系...
- 关键词：
- 关键词：砷化镓二次离子质谱硅
- 硅材料中锑杂质含量的二次离子质谱检测方法
- 2016年
- 针对二次离子质谱法测硅材料中锑杂质存在质量数干扰、实验结果不准确的问题,该文对排查干扰离子并消除干扰的方法进行研究。通过对相关样品进行二次离子质谱定量分析、深度剖析和全元素扫描分析,探究硅材料中锑杂质准确定量的最优检测方法。最终结果表明二次离子质谱法对硅中锑杂质浓度的检测限可低至1×1013atoms/cm3,相对标准偏差(RSD,n=10)为10.0%。研究结果对分析二次离子质谱检测中普遍存在的质量数干扰现象有参考价值,排查干扰离子的方法有广泛的适用性。
- 陈潇马农农何友琴王东雪
- 关键词：检测限
- 二次离子质谱的深度分辨本领被引量：6
- 2000年
- 深度剖析是二次离子质谱在半导体以及各种其它薄膜材料分析中最重要的应用 ,深度分辨本领是表征其分析能力的重要参数 ,国际标准化组织 ( ISO)最近正在研究和制定这方面的国际标准。本文在概述了SIMS深度分辨本领影响因素的基础上 ,推导了δ掺杂层深度分辨函数的解析表达式 ,讨论了其物理意义 ,特别是分辨参数的定义。在 CAMECA IMS4 f仪器上用 5.5ke V的氧束对 Si中 Ga Asδ掺杂多层膜样品进行了深度剖析 ,讨论了所得分辨参数及影响因素。结合国外实验室 ISO巡回测试的结果 。
- 朱怡峥桂东陈娉马农农韩象明查良镇
- 关键词：二次离子质谱半导体
- 超薄型SOI材料顶层硅和埋氧化层厚度的测量方法
- 本发明公开了一种超薄型SOI材料顶层硅和埋氧化层厚度的测量方法，首先取一片SOI晶片，利用X光电子能谱仪进行SOI材料成分测试，采用数据采集和离子溅射交替进行，记录SOI材料中各组分的含量随溅射时间的变化，从而获得样品各...
- 刘立娜刘兆枫马农农李雨辰何煊坤杨东海孙雪莲蔺娴何友琴
- 铯离子源在ＳＩＭＳ分析中的应用
- 刘容马农农
- 关键词：质谱仪铯离子
- GaN单晶中Mg含量的SIMS定量分析方法
- 2020年
- GaN材料是研制微电子器件、光电子器件的新型半导体材料,在其单晶材料的研制过程中,掺杂剂Mg的含量对生长p型GaN有重要影响,所以对Mg浓度的精确测定至关重要。采用相对灵敏度因子法,以离子注入样品为参考样品,对GaN单晶中Mg元素含量的二次离子质谱(SIMS)定量分析方法进行了研究,并通过改变扫描面积,使GaN单晶中Mg元素浓度的检测限达到5.0×1015 cm-3。该方法具有高稳定性(精密度小于10%)和可靠性,在没有可溯源参考样品的情况下,可自制参考样品实现对GaN晶体中Mg含量的SIMS定量分析。该方法成为GaN单晶中Mg杂质含量的可行的检测方法之一。
- 何友琴马农农陈潇张鑫刘立娜
- 关键词：氮化镓镁
- 一种二次离子质谱仪测试用样品架
- 本实用新型公开了一种二次离子质谱仪测试用样品架。样品架包括样品架基座、前挡片、背压块、固定螺丝和弹簧；前挡片开有十个大小相等的正方形方孔，分布均匀对称，前挡片焊接在样品架基座上；背压块通过固定螺丝固定在样品架基座上，弹簧...
- 马农农何友琴陈潇张鑫王东雪杨东海孙雪莲
- 硅中磷杂质的SIMS定量检测被引量：4
- 2010年
- 利用SIMS(二次离子质谱仪)测试了国产重掺砷硅单晶中的痕量杂质磷,通过样品前期处理和精密的仪器调试,使检测时间缩短,并使硅中磷的检测限达到5×1013cm-3。实验结果表明,样品的前期处理工艺会对检测结果产生影响。不同处理工艺得到的样品,在表面粗糙度方面产生区别。不同的表面粗糙度,影响到样品的测试时间和测试精度。同时,通过仪器调试,仪器的真空度达到1×10-10torr,使测试背底和检测限降低。
- 陈密惠何秀坤马农农曹全喜
- 关键词：SIMS
- 表面化学分析.二次离子质谱.由离子注入参考物质确定相对灵敏度因子
- 本标准指定了一种由离子注入参考物质确定二次离子质谱分析中相对灵敏度因子的方法。本标准适用于基体化学成分单一的样品，其中注入物质的峰值原子浓度不超过1%。
- 马农农何友琴何秀坤
- 关键词：质谱学表面性质灵敏度
- 紫外光激发下砷化镓表面特性研究
- 任殿胜马农农李雨辰何友琴章安辉
- 研究了砷化镓晶片在自然氧化条件下的表面特性，探讨了自然氧化层形成的反应机理和动力学过程，开展了紫外光激发下砷化镓表面氧化反应的研究，通过与砷化镓晶片表面的自然氧化层特性的对比，弄清了紫外光激发下氧化反应的机理，建立了反应...
- 关键词：
- 关键词：紫外光砷化镓
