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伦凤艳

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电气工程

主题

  • 3篇振动传感
  • 3篇振动传感器
  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇悬臂
  • 2篇悬臂梁
  • 1篇旋涂
  • 1篇灵敏度
  • 1篇敏度
  • 1篇聚甲基丙烯酸
  • 1篇聚甲基丙烯酸...
  • 1篇刻蚀
  • 1篇甲基
  • 1篇甲基丙烯
  • 1篇甲基丙烯酸
  • 1篇甲基丙烯酸甲...
  • 1篇干法刻蚀
  • 1篇PMMA
  • 1篇MEMS

机构

  • 3篇中国科学院长...
  • 2篇吉林大学

作者

  • 3篇伦凤艳
  • 2篇高福斌
  • 2篇张平
  • 1篇王淑荣
  • 1篇贾宏光

传媒

  • 1篇微细加工技术
  • 1篇半导体光电

年份

  • 3篇2006
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
集成微光机械振动传感器芯片制作工艺研究
2006年
介绍了一种新型集成微光机械振动传感器的工作原理和芯片制作工艺。以聚甲基丙烯酸甲酯为结构材料,采用旋涂和干法刻蚀技术,实现了光波导集成光路和悬臂梁-质量块微机械结构在硅基底上的集成。详细讨论了高分子聚合物微器件制作工艺中的关键技术、工艺难点以及解决措施。
张平伦凤艳王淑荣高福斌
关键词：振动传感器聚甲基丙烯酸甲酯旋涂干法刻蚀悬臂梁
微光机械振动传感器的设计与制作
2006年
采用旋涂和干法刻蚀技术,制作了一种新型有机集成微光机械振动传感器,其主要结构是由在硅基上制作的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)悬臂梁和光波导集成光路组成,探测光路采用强度调制型开环差分探测,利用光-机转换功能,实现对微小振动量的检测。通过对该器件结构参数的优化设计和幅频特性分析表明,所制备的器件具有灵敏度高、线性度好、抗电磁干扰、工艺简单、成本低等优点。
伦凤艳张平高福斌贾宏光
关键词：振动传感器悬臂梁灵敏度
MEMS振动传感器的设计及制作工艺研究
论文以实现低成本、高灵敏度、高集成度的微振动传感器为目标，开展了基于MEMS技术的聚合物微光机械振动传感器设计及制作工艺的基础性研究。 通过对传感器及其所用材料的发展过程和现状进行回顾与比较，指出了聚合物微光机...
伦凤艳
关键词：MEMS技术
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