任春生
- 作品数：66 被引量：235H指数：6
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金辽宁省自然科学基金教育部长江学者奖励计划更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术环境科学与工程电子电信更多>>
- 大气压脉冲放电等离子体的研究现状与展望被引量：77
- 2011年
- 近年来,大气压脉冲放电等离子体研究受到了人们的格外关注.研究表明与交流驱动相比,脉冲放电产生大气压等离子体具有许多优势,如它的VUV、氧原子、及臭氧的产生效率高;峰值电流密度、电子密度、及电子产生效率也更高;在对介质表面处理时能达到更好的处理效果和更高的效率;还更易产生均匀的大面积等离子体;所产生等离子体的非平衡性更高;灭菌效果也更好等优点.但是,对于脉冲放电的放电机理,放电模式,及脉冲参数(上升沿和下降沿、重复频率、脉冲宽度等)对放电效果的影响,现在的研究还非常有限,且很零散.这一方面是由于大气压放电诊断本身就很困难,另一方面,由于脉冲放电快速的时空演化过程进一步加大了对其诊断的难度.再者,对其研究还受到脉冲电源参数的限制.本文对国际上大气压脉冲放电等离子体最新研究的代表性研究成果做了一个综述,并对今后的研究方向提出了几点建议.
- 卢新培严萍任春生邵涛
- 关键词：脉冲放电等离子体非平衡等离子体介质阻挡放电
- MBMI技术TiN膜的工艺、结构及性能研究
- 文章介绍了多束动态混合注入(MBMI)设备及技术特点,利用MBMI技术制备超厚(35μm)高结合力(5600f)TiN膜,并对TiN膜进行了XRD、SEM、扫描电子能谱分析,结果显示,MBMI技术TiN膜具有致密而无空洞...
- 任春生
- 关键词：TIN膜离子注入耐蚀性
- 一种在大气压空气中产生大间隙、大面积均匀放电等离子体的装置
- 本实用新型提供一种在大气压空气中产生大间隙、大面积均匀放电等离子体的装置，属于大气压低温等离子体技术领域。装置包括上电极、上介质板、下电极、下介质板、金属柱、风道系统和纳秒脉冲电源，有两种形式：一种上、下电极结构对称，另...
- 郭宏飞刘一荻樊智慧王玉英闫慧杰任春生
- 文献传递
- 辅以动态氮离子轰击的氩离子束溅射沉积PTFE高分子膜被引量：2
- 1997年
- 用辅以动态氮离子轰击的氩离子束溅射沉积方法，在３０４不锈钢基材上沉积聚四氟乙烯薄膜．经ＸＰＳ和ＩＲＳ分析，确定了聚四氟乙烯膜的存在并进行了结构分析．划痕试验表明：这种方法制成的聚四氟乙烯膜与基材之间有较好的结合力．
- 李有宏龙振湖宫泽祥任春生
- 关键词：聚四氟乙烯离子束溅射沉积
- 外电极结构及材料的改变对等离子体输运距离及准直性的影响
- 利用同轴枪可以产生具有高温度、高密度以及高速度特性的等离子体，在空间推进、天体物理学以及空间微小碎片超高速撞击的实验模拟研究中有着广泛的应用，已经成为国际前沿的研究热点 1.在实际的应用当中，等离子体输运距离及准直性的研...
- 白晓东漆亮文赵崇宵余鑫任春生
- 高密度等离子体增强非平衡磁控溅射沉积Cu膜研究被引量：2
- 2006年
- 采用直流非平衡磁控溅射射频等离子体增强电高法在Si衬底上沉积了Cu膜，用扫描电镜（SEM）研究了沉积Cu膜的表面形貌并测得薄膜的厚度，用X射线衍射（XRD）研究了沉积Cu膜的结构，用电子能谱等对Cu膜进行了成分分析．实验结果表明，在该条件下沉积的Cu膜致密，晶粒尺度在100～1000nm，膜基界面比较紧密，没有明显的空洞，并且Cu膜呈（111）织构．通过实验，找到沉积Cu膜的最佳实验参数，并希望这一工艺能应用在集成电路中．
- 齐雪莲任春生马腾才刘峰
- 关键词：非平衡磁控溅射CU膜
- 一种大气压空气中产生大间隙、大面积均匀放电等离子体的装置及使用方法
- 本发明提供一种大气压空气中产生大间隙、大面积均匀放电等离子体的装置及使用方法，属于大气压低温等离子体技术领域。装置包括上电极、上介质板、下电极、下介质板、金属柱、风道系统和纳秒脉冲电源，有两种形式：一种上、下电极结构对称...
- 郭宏飞刘一荻樊智慧王玉英闫慧杰任春生
- 天然挥发油对塑料降解和减容作用的研究
- 塑料是一种人工合成的高分子化合物,具备许多优越性能,它不仅与人们的日常生活关系密切,而且已成为工农业生产和科学技术不可缺少的重要材料。普通塑料是指产量大,价格便宜,力学性能一般,主要作为非结构材料使用的一类塑料。目前,全...
- 于沈晶任春生修志龙
- 关键词：塑料降解挥发油
- 文献传递
- 新型离子束增强沉积技术被引量：5
- 1998年
- 离子束增强沉积技术是近年在离子注入技术基础上发展的新型材料表面改性技术，本文简要介绍多功能离子束增强沉积设备和应用技术研究，设备具有金属离子注入、气体离子注入、离子束增强沉积、磁控溅射沉积功能，进行材料表面改性和制备各种材料薄膜科学研究。
- 李国卿任春生牟宗信郭宝海钟溥王洋康宁赵成修赵成修孙俊才王亮
- 关键词：表面改性离子束
- 等离子体离子源磁场分布数值计算被引量：3
- 2002年
- 在离子源的设计中 ,为了减少等离子体的器壁复合损失 ,经常采用磁场对等离子体进行约束 ;但磁场分布的复杂性 ,给实际测量带来了困难 .介绍采用磁荷法对低能辐照离子源中磁场分布进行计算 ,给出了计算结果 ,并讨论了误差可能产生的原因及其影响 .计算结果对于离子源设计中的阴极热电子发射、离子束有效引出面积确定及等离子体的有效约束等重要问题有一定参考价值 .
- 任春生牟宗信李国卿钟溥
- 关键词：等离子体离子源磁场分布磁约束磁场位形离子束
