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沈卫星: 作品数：44 被引量：85H指数：5; 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>; 发文基金：中国科学院国际合作局对外合作重点项目国家高技术研究发展计划更多>>; 相关领域：机械工程理学电子电信金属学及工艺更多>>

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离轴楔形透镜高分辨检测方法与装置: 一种离轴楔形透镜的高分辨面形检测装置，该检测装置构成主要包括动态干涉仪与球面镜头、标准反射镜、自准直平行光管、标准楔块。本发明利用标准楔块配合平行光管完成光路校准，使用动态干涉仪检测离轴楔形透镜的透射波面误差数据。本测量...; 焦兆阳张泽邵平沈卫星彭馨慧刘雨欣孙明营朱健强

激光光斑有效面积的准确测定被引量：14: 2004年; 　从激光光斑有效面积的定义出发,采用CCD图像摄取技术,设计了一套激光光斑有效面积测量装置。在4种不同激光光斑能量分布和不同能量密度的情况下,用有效面积测量仪分别进行了实际测试验证。结果表明,该测量装置可以对任何能量非均匀分布的激光光斑的有效面积进行准确测试,有助于提高光学元件激光损伤阈值的测量精度。; 杨镜新庄亦飞沈卫星林尊琪; 关键词：激光损伤阈值

楔形透镜的检测装置和检测方法: 一种楔形透镜的检测装置和检测方法，该楔形透镜检测装置构成包括4D动态干涉仪、补偿镜组、平台、标准反射镜、高精度转台调整架、立方棱镜、自准直平行光管，本发明利用机械与光学相结合的方法来测量，它能够实现高精度测量，并分别得出...; 邵平居玲洁沈卫星赵东峰王利周洋; 文献传递

激光光斑有效面积测试装置: 一种激光光斑有效面积测试装置，其特征在于它由CCD成像测量系统与计算机构成，两者之间采用光缆进行光电信号耦合，所说的CCD成像测量系统为面阵CCD成像系统，所述的计算机应具有64位图形加速卡、显示器、和打印机，该计算机(...; 杨镜新沈卫星庄亦飞; 文献传递

光学玻璃粗糙度实时检测装置: 一种用于光学抛光机的光学玻璃粗糙度实时检测装置，本实用新型是利用激光的表面散射原理，在光学玻璃被加工的同时，不离开工作台的情况下，通过调整激光光源发出的光束与玻璃待测表面的入射角大于或等于全反射角，将散射光同反射光自然分...; 程骅沈卫星; 文献传递

一种高分辨率的近场波前测量装置和测量方法: 一种高分辨率的近场波前测量装置和测量方法，装置包括由衍射物体和CCD探测器构成的探测器组件、供探测器组件放置的二维电动平移台以及计算机，所述的衍射物体和CCD探测器通过套筒固定连接，且衍射物体与CCD探测器的靶面平行；所...; 张雪洁程北沈卫星刘诚朱健强; 文献传递

大口径长焦距透镜焦距及透射波前测量研究: 2024年; 随着高功率激光装置性能的提升,大口径长焦距透镜的焦距与透射波前作为核心指标均受到严格控制。基于相位恢复测量技术,结合组合透镜测量方式,提出了一种高精度的长焦透镜焦距及波前同时测量的方法。该方法通过重建待测透镜复透射函数,采用计算定焦的方式获取透镜焦距信息,并从中提取出相对数字基准的波前误差,解决了长焦透镜测量中存在的定焦难、测量系统要求高等问题。采用16 m焦距透镜验证了所提方法的可行性,并且分析了各位置误差以及叠层扫描相干衍射成像(PIE)相位测量误差对焦距和波前测量结果的影响。该方法具有测量简单灵活、空间需求小、抗环境干扰能力强等优势。点,提出了一种基于PIE的透镜焦距和波前同时测量的方法。该方法与现有的焦距和波前测量技术的原理完全不同,解决了长焦透镜参数测量中存在的定焦难、测量系统要求高等难题,提供了一种精度高、兼容性强的可靠测量手段。; 孙晓萌张雪洁程芳芳周申蕾沈卫星马晓君刘诚朱健强; 关键词：光学测量相位恢复焦距波前

透镜焦距的测量装置及其测量方法和光学质量评估方法: 一种透镜焦距的测量装置及其测量方法和光学质量评估方法，该透镜焦距的测量装置由平面反射镜、待测透镜、点光源、竖直刀口、一维精密平移导轨、激光测距仪、CCD探测器和显示器组成，透镜焦距的测量方法包括①调节点光源与待测透镜自准...; 庞向阳沈卫星王聪瑜林尊琪; 文献传递

科学CCD近场仪在高功率激光装置中的实时测量: 林尊琪沈丽青徐德衍沈卫星何明芳蒋玉柱彭永华凌鸣逸; 该课题源于863-416-2-5-1，神光Ⅱ精密化诊断项目之一，科学CCD近场仪的研究，可监视神光Ⅱ全系统光束传输性能水平，控制各级光束填充因子，探测近场光束性能变化，保证光束精密化性能水平，保证装置安全，稳定运行，美国...; 关键词：

超光滑光学表面粗糙度的测定被引量：1: 1999年; 讨论了如何确定及消除光学轮廓仪的系统误差，进而测定超光滑光学表面粗糙度的方法及结果。在ＺｙｇｏＭａｘｉｍ３Ｄ５７００表面轮廓仪上使用２－５ ×和２０ ×Ｍｉｒａｕ物镜测量ｒｍｓ在０－３ｎｍ左右的超光滑硅片，通过对每个取样区域数据１６次相位平均，再对多个取样区域高度数据平均，消除了仪器的系统误差，使超光滑光学表面粗糙度得到精确测量。并使用其它光学轮廓仪对样品做了验证测量。作为比较，在同样条件下测量了０－８ｎｍ左右的光滑硅片。; 徐德衍沈卫星林尊琪; 关键词：光学轮廓仪超光滑表面粗糙度