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田野
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81
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国防科学技术大学
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国家社会科学基金
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相关领域:
金属学及工艺
自动化与计算机技术
电子电信
机械工程
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合作作者
石峰
国防科学技术大学
宋辞
国防科学技术大学
铁贵鹏
国防科学技术大学
薛帅
国防科学技术大学
王博
国防科学技术大学
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国防科学技术...
作者
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田野
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石峰
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宋辞
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2010
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基于面形误差频段的脉冲控制可调束径的离子束加工方法
本发明公开了一种基于面形误差频段的脉冲控制可调束径的离子束加工方法,本发明根据面形测量结果确定加工误差解算各个网格的目标束径和驻留时间,并通过光学加工系统依次对被加工元件的各个网格基于目标束径和驻留时间进行修形,从而实现...
田野
石峰
周光奇
宋辞
铁贵鹏
周港
文献传递
一种熔石英光学元件表面Sol-gel减反射膜层清洗方法
本发明涉及强激光光学元件加工技术,公开了一种熔石英光学元件表面Sol‑gel减反射膜层清洗方法,实施步骤包括:测量待清洗样品表面Sol‑gel减反射膜的膜层厚度h;使用玻璃夹具对待清洗样品进行装夹;将待清洗元件连同玻璃夹...
宋辞
石峰
钟曜宇
田野
张坤
铁贵鹏
薛帅
林之凡
文献传递
基于液相抛光环境调控的单晶硅无损抛光方法
本发明公开了一种基于液相抛光环境调控的单晶硅无损抛光方法,实施步骤包括:将单晶硅工件完全淹没放置在容器中的抛光液中并进行CCOS抛光加工,且在加工过程中检测并控制抛光液pH值;将单晶硅工件清洗去除大尺寸颗粒残留;采用离子...
田野
宋辞
周港
石峰
彭小强
文献传递
一种永磁-电磁混合阵列式磁流变抛光装置
本发明涉及机械、光学加工及理论仿真技术领域,尤其涉及一种永磁‑电磁混合阵列式磁流变抛光装置,包括抛光机构,分别设于抛光机构上的主励磁装置和用于将磁流变液体带动以被回收的辅助永磁体组,所述主励磁装置为包括相互连接的主励磁永...
铁贵鹏
王博
石峰
张万里
乔硕
宋辞
田野
基于多模态图像融合的工件缺陷检测方法、装置及设备
本申请涉及一种基于多模态图像融合的工件缺陷检测方法、装置及设备,通过先采用多尺度多方向图像变换方法分别对光学图像以及红外图像进行分解,得到对应各图像的高频方向子带以及低频子带,利用主成分分析法分别对光学图像以及红外图像的...
彭星
石峰
田野
陈浩
刘海鹏
曹红兵
乔腾铎
一种轮环式磁流变抛光头及磁流变抛光机床
本发明公开了一种轮环式磁流变抛光头及磁流变抛光机床,本发明轮环式磁流变抛光头包括固定悬挂板和贯穿固定悬挂板且可转动的传动轴,所述传动轴的端部设有环形抛光轮,所述固定悬挂板上靠近环形抛光轮的一侧悬挂安装有用于通过磁场使得磁...
宋辞
王博
石峰
田野
铁贵鹏
一种基于脉冲离子束的石墨烯单层去除方法
本发明公开了一种基于脉冲离子束的石墨烯单层去除方法,包括控制脉冲离子束的溅射能量和脉宽保持在多层石墨烯的缺陷表层和完整底层的溅射阈值之间,将脉冲离子束倾斜入射轰击多层石墨烯,从而选择性地去除缺陷表层的碳原子并同时保留完整...
石峰
谢凌波
巩保启
田野
郭双鹏
周港
基于频域分析的大口径光栅扫描刻蚀周期误差抑制方法
本发明公开了一种基于频域分析的大口径光栅扫描刻蚀周期误差抑制方法,本发明方法包括S1,形成路径函数<IMG width='"144"/' orientation='"portrait"' inline='"yes"' i...
石峰
周港
彭星
田野
巩保启
郭双鹏
一种离子束超精密修形加工装置及其加工方法
本发明公开了一种离子束超精密修形加工装置及其加工方法,属于超精密加工技术领域,为了解决喷嘴的内部或者边缘处会产生积灰,以及喷嘴磕碰变形,对离子束进行遮挡,影响整形精度的问题,本发明中的一种离子束超精密修形加工装置,包括基...
乔硕
黄张福
石峰
田野
彭星
巩保启
乔东阳
一种自清洗式纳米胶体射流抛光装置
公开了一种自清洗式纳米胶体射流抛光装置,其中柱塞泵(4)安装在第一、二管路(1、5)上,纳米胶体容器(1)与第一、五管路(1、21)相连,清洗装置(23)与第六、七管路(22、27)相连,增压蓄能器(8)安装在第三、四管...
石峰
张万里
戴一帆
彭小强
田野
陈学蕾
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