刘兵武
- 作品数：6 被引量：19H指数：3
- 供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信交通运输工程机械工程更多>>
- 一种新型硅基厚膜压力/温度传感器的设计和制作被引量：7
- 2006年
- 设计并制作了一种新型传感器,它包含压阻式压敏元件和热敏元件两部分.其中压敏元件采用比常规更厚的50μm硅杯薄膜(500μm×500μm),增大了体硅上高应力区的面积,在降低工艺要求的同时提高了线性测量范围和过载压力.压敏电阻设计为折线结构,采用优化的几何尺寸,并将其部分制作在高应力体硅上以获得更高灵敏度.体硅上的温敏电阻随压敏电阻利用同步注入工艺制作,减小了工艺复杂度.该器件工艺简单,成品率高,与标准IC工艺兼容.初步的测试结果表明器件具有良好的性能.
- 张艳红刘兵武刘理天张兆华谭智敏林惠旺
- 关键词：压阻效应应力分布
- TPMS硅基压阻式压力传感器的研制
- 轮胎压力监测系统(TPMS)对压力传感器越来越大的市场需求使得这类传感器再次成为一个研究热点.商业领域对新一代压力传感器的要求是小尺寸、高性能、低价格,本文针对在30 μm厚度的硅杯方形薄膜上采用新型折线形状和位置的压敏...
- 张艳红刘兵武刘理天张兆华谭智敏林惠旺
- 关键词：压阻式压力传感器灵敏度线性度TPMS硅基
- 文献传递
- 硅基TPMS集成传感器研究被引量：3
- 2006年
- 本文介绍了一种应用于轮胎压力监测系统(TPMS)的传感器芯片的设计与制作.该传感器芯片集成了压阻式压力传感器和单电阻结构的温度传感器,根据量程需要,硅杯膜的厚度与面积比比较大,所以高应力区向膜外扩展,通过改变桥臂电阻的摆放位置和形状,提高了传感器的灵敏度,并且通过采取高浓度注入电阻拐角区域,得到了较好的零点输出.
- 张兆华刘兵武张艳红谭智敏林惠旺刘理天
- TPMS硅基压阻式压力传感器的研制被引量：5
- 2006年
- 轮胎压力监测系统(TPMS)对压力传感器越来越大的市场需求使得这类传感器再次成为一个研究热点.商业领域对新一代压力传感器的要求是小尺寸、高性能、低价格,针对在30μm厚度的硅杯方形薄膜上采用新型折线形状和位置的压敏电阻,设计并制作了一系列压阻式压力传感器.分析和讨论了膜的面积、电阻形状和位置等参数对压力传感器的灵敏度和线性度的影响.测试得到1000kPa量程下边长为370μm的压力传感器灵敏度和线性度分别为15.5mV/V·FS、0.012%/FS;边长为470μm的传感器的灵敏度和线性度分别为32.2mV/V·FS、0.078%/FS,满足TPMS应用标准.这种器件体积小、成品率高,灵敏度和线性度均得到提高,也可用于医学、航空等其他领域.
- 张艳红刘兵武刘理天张兆华谭智敏林惠旺
- 关键词：压阻式压力传感器灵敏度线性度TPMS
- 轮胎压力监控系统研究与设计
- 轮胎压力监视系统(TPMS,tire pressure monitoring system)是一种重要的汽车安全用电子信息系统,它能够在汽车行驶过程中对轮胎气压以及温度进行自动监测,在轮胎气压值过低或者过高以及轮胎温度过...
- 张兆华刘兵武张艳红谭智敏林惠旺刘理天
- 关键词：汽车电子轮胎压力监控系统传感器单片机
- 文献传递
- 用于MEMS器件的单面溅金硅共晶键合技术被引量：7
- 2006年
- 分析了金硅共晶键合的基本原理,讨论了键合实验的基本工艺,给出了键合的测试结果。这种键合方法键合温度低,键合工艺简单,与器件制造工艺兼容,对工艺环境要求不高,可以得到满意的键合强度,而且成本低,特别适合于已经做过结构的器件键合封接工艺。
- 刘兵武张兆华谭智敏林惠旺刘理天
- 关键词：键合微电子机械系统
