耿康
- 作品数：3 被引量：6H指数：2
- 供职机构：苏州大学信息光学工程研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- 介质膜光栅槽形无损检测方法的研究被引量：4
- 2005年
- 为了从理论上探究介质膜基底光刻胶光栅掩模槽形的检测方法,对此种光栅掩模建立了以C方法为理论基础的衍射效率理论计算的数学模型,并将从实际光栅掩模的SEM照片得出的光栅槽形参数带入到该模型中,得到了一系列-1级衍射光的光谱分布曲线,这些曲线的变化趋势与一定光栅槽形相对应,提出了通过测量衍射光的光谱分布曲线判断光栅槽形的无损检测方法。分析表明,该方法在光栅槽形的检测过程中,可以较为有效地判断光刻胶是否到底,而这一点在掩模的制作工艺中至关重要。
- 陈新荣耿康吴建宏
- 关键词：光栅多层介质膜脉冲压缩
- 用C方法计算介质膜光栅衍射效率被引量：2
- 2004年
- 运用C方法对介质膜基底反射光栅的衍射效率进行了详细的理论分析。在此基础上用正弦函数的高次幂作为光栅的槽形函数编写了介质膜光栅衍射效率计算程序,数值计算结果表明了C方法在计算介质膜光栅衍射效率的可行性。
- 耿康陈新荣吴建宏
- 关键词：电磁场理论光栅介质膜
- 多层介质膜光栅掩膜形貌特性的研究
- 该文围绕着多层介质膜光栅的制作展开了理论和实验的研究,主要内容包括以下几个方面:首先介绍了研究惯性约束核聚变(ICF)的意义和国际上脉冲压缩光栅(PCG)的研究进展.对光栅电磁场的严格矢量理论给出了详细的介绍,并且对其中...
- 耿康
- 关键词：光栅衍射效率多层介质膜
- 文献传递
