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谢红
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46
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供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
中国科学院战略性先导科技专项
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相关领域:
电子电信
理学
文化科学
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合作作者
王浩敏
中国科学院上海微系统与信息技术...
谢晓明
中国科学院上海微系统与信息技术...
江绵恒
中国科学院上海微系统与信息技术...
孙秋娟
中国科学院上海微系统与信息技术...
吴天如
中国科学院上海微系统与信息技术...
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作者
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王浩敏
46篇
谢红
45篇
谢晓明
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江绵恒
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基于石墨烯的隧穿场效应管单元、阵列及其形成方法
本发明提供一种基于石墨烯的隧穿场效应管单元、阵列及其形成方法,所述单元至少包括衬底;所述衬底上自下而上依次包括底栅电极、第一电介质层、底层石墨烯、绝缘阻挡层、顶层石墨烯、第二电介质层及顶栅电极;所述底层石墨烯及所述顶层石...
王浩敏
谢红
吴天如
孙秋娟
王慧山
宋阳曦
刘晓宇
唐述杰
谢晓明
一种柔性衬底上制备石墨烯器件的方法
本发明提供一种柔性衬底上制备石墨烯器件的方法,所述方法至少包括:1)提供一柔性衬底,将所述柔性衬底粘附至一硬性衬底,并在所述柔性衬底上形成石墨烯导电沟道;2)采用电子束曝光图形化形成源、漏电极图形,沉积金属并剥离在所述石...
王浩敏
谢红
王慧山
孙秋娟
陈吉
张学富
吴天如
谢晓明
江绵恒
一种石墨烯闪存存储器的制备方法
本发明提供一种石墨烯闪存存储器的制备方法,所述方法采用单层或者多层的连续石墨烯薄膜替代多晶硅栅或者氮氧化物存储电荷,能够在有限的物理空间内提高电荷存储容量,由于石墨烯厚度较薄,缩小器件纵向尺寸的同时,消除器件中电容耦合的...
王浩敏
谢红
王慧山
李蕾
卢光远
张学富
陈吉
吴天如
谢晓明
江绵恒
一种量子干涉器件结构及其制备方法
本发明提供一种量子干涉器件结构及其制备方法,该结构包括:第一超导层;位于所述第一超导层之上的第一介电层;位于所述第一介电层之上的石墨烯或二维半导体薄膜层;位于所述石墨烯或二维半导体薄膜层之上的第二介电层;位于所述第二介电...
王浩敏
谢红
李蕾
王慧山
杨鹏
谢晓明
江绵恒
一种基于栅介质结构的石墨烯场效应器件及其制备方法
本发明提供一种基于栅介质结构的石墨烯场效应器件及其制备方法,该石墨烯场效应器件包括:具有栅电极沟槽的衬底;形成于所述栅电极沟槽中的栅电极;Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>介电薄膜层,位于所述栅电极沟...
王浩敏
谢红
孙秋娟
康晓旭
刘晓宇
谢晓明
一种石墨烯-硒化铌超导异质结器件及其制备方法
本发明提供一种石墨烯‑硒化铌超导异质结器件及其制备方法,该方法提供衬底;在所述衬底上形成石墨烯;对所述石墨烯进行图形化,形成具有预设形状的沟槽;于所述沟槽内生长硒化铌,所述硒化铌沿所述石墨烯边界外延生长,形成石墨烯‑硒化...
王浩敏
谢红
王慧山
王秀君
陈令修
贺立
谢晓明
一种石墨烯场效应器件制备方法
本发明提供一种石墨烯场效应器件集成方法。该方法在衬底上形成栅电极与对准标记。接下来制备出具有高介电常数的Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>薄膜,并利用湿法刻蚀的方法对其进行刻蚀,露出栅电极接触及对准标...
王浩敏
谢红
刘晓宇
张有为
陈志蓥
于广辉
谢晓明
基于石墨烯的隧穿场效应管单元、阵列及其形成方法
本发明提供一种基于石墨烯的隧穿场效应管单元、阵列及其形成方法,所述单元至少包括衬底;所述衬底上自下而上依次包括底栅电极、第一电介质层、底层石墨烯、绝缘阻挡层、顶层石墨烯、第二电介质层及顶栅电极;所述底层石墨烯及所述顶层石...
王浩敏
谢红
吴天如
孙秋娟
王慧山
宋阳曦
刘晓宇
唐述杰
谢晓明
一种柔性衬底上制备石墨烯器件的方法
本发明提供一种柔性衬底上制备石墨烯器件的方法,所述方法至少包括:1)提供一柔性衬底,将所述柔性衬底粘附至一硬性衬底,并在所述柔性衬底上形成石墨烯导电沟道;2)采用电子束曝光图形化形成源、漏电极图形,沉积金属并剥离在所述石...
王浩敏
谢红
王慧山
孙秋娟
陈吉
张学富
吴天如
谢晓明
江绵恒
h-BN上石墨烯纳米带的制备方法
本发明提供一种h-BN上石墨烯纳米带的制备方法,包括:1)采用金属催化刻蚀方法于h-BN上形成具有纳米带状沟槽结构的h-BN沟槽模板;2)采用化学气相沉积方法于所述h-BN沟槽模板中的生长石墨烯纳米带。本发明采用CVD方...
王浩敏
贺立
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