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孙卿

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：上海工程技术大学材料工程学院更多>>
发文基金：上海市教育委员会重点学科基金更多>>
相关领域：金属学及工艺理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇专利

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇理学

主题

  • 1篇牙膏
  • 1篇牙签
  • 1篇牙刷
  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇旅行
  • 1篇密封
  • 1篇密封腔
  • 1篇溅射
  • 1篇SIC薄膜
  • 1篇表面形貌
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇存储装置

机构

  • 3篇上海工程技术...

作者

  • 3篇周细应
  • 3篇孙卿
  • 2篇陈晖
  • 1篇钟海波
  • 1篇袁超
  • 1篇马树杰

传媒

  • 1篇金刚石与磨料...
  • 1篇磨料磨具通讯

年份

  • 3篇2011
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
几种氟碳薄膜制备方法及其表面形貌特征分析
2011年
本文介绍了等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）和磁控溅射法制备氟碳（FC）薄膜，概述了相应FC薄膜的表面形貌特征，主要介绍了电感耦合等离子体化学气相沉积法（ICP—CVD）、电子回旋共振等离子体化学气相沉积法（ECR—CVD）、介质阻挡放电等离子增强化学气相沉积法（DBD—PECVD），最后比较分析了各种制备方法的优缺点。
陈晖周细应孙卿马树杰
关键词：表面形貌
磁控溅射SiC薄膜表面形貌演化行为研究被引量：2
2011年
采用射频磁控溅射法在石英玻璃基底上沉积SiC薄膜。用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观察薄膜的表面形貌,利用粗糙度和颗粒度大小对薄膜表面形貌动态演化进行量化表征。结果表明:在100～175 W溅射功率范围内,1 000℃高温真空退火处理能明显减小SiC薄膜表面粗糙度,膜层表面更为平滑,颗粒大小更为均匀;随着溅射功率的增大,颗粒度的总体变化呈现先增大后减小的趋势。
陈晖周细应孙卿
关键词：SIC薄膜原子力显微镜
便携式牙刷
本实用新型涉及牙刷技术领域，具体地说是一种便携式牙刷，包括上刷柄、下刷柄、套筒，其特征在于：所述的套筒的开口端设有内螺纹；所述上刷柄由上刷柄腔体依次连接刷杆及刷头本体组成，上刷柄腔体下部设有外螺纹；所述下刷柄为筒状结构的...
钟海波孙卿袁超周细应
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