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姜春宇
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
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王逸群
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
张宝顺
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
曾中明
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
吴东岷
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
王德稳
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
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一种晶圆级芯片尺寸原子蒸汽腔封装方法
本发明涉及MEMS器件制造领域,具体公开一种晶圆级芯片尺寸的原子蒸汽腔封装方法,包括步骤:S1通过阳极键合,将第一键合玻璃与带有通孔的硅晶圆的一侧表面键合,使得通孔形成各自独立的预成型腔;S2在部分预成型腔中,置入碱金属...
王逸群
姜春宇
付思齐
林文魁
王德稳
张宝顺
文献传递
三维磁源反演装置及系统
本发明揭示了一种三维磁源反演装置及系统,包括:磁屏蔽桶、激励线圈、补偿线圈、支撑杆、若干磁性探测器及移动台。其中,激励线圈,沿磁屏蔽桶轴向固定安装于磁屏蔽桶中,用于产生位于激励线圈内部空间的激励磁场和位于激励线圈外部空间...
吴东岷
刘宇
荀宇洁
王逸群
姜春宇
曾中明
张宝顺
原子腔结构及其制作方法
本发明公开了一种原子腔结构,所述原子腔结构包括:基片,具有封闭的腔;至少三组反射结构,所述反射结构设置于所述腔的内壁上,所述反射结构至少用于对射入所述腔内的相应的第一光线进行反射,从而使所有的所述第一光线与射入所述腔内的...
姜春宇
王逸群
张宝顺
翟豪
原子腔结构及其制作方法
本发明公开了一种原子腔结构,所述原子腔结构包括:基片,具有封闭的腔;至少三组反射结构,所述反射结构设置于所述腔的内壁上,所述反射结构至少用于对射入所述腔内的相应的第一光线进行反射,从而使所有的所述第一光线与射入所述腔内的...
姜春宇
王逸群
张宝顺
翟豪
一种原子气室及其制作方法
提供了一种原子气室及其制作方法,所述原子气室包括第一玻璃片、第二玻璃片和硅晶圆,硅晶圆具有贯穿其彼此相对的第一硅晶圆表面和第二硅晶圆表面的通孔;第一玻璃片覆盖于第一硅晶圆表面上,且第二玻璃片覆盖于第二硅晶圆表面上,以使通...
翟豪
王逸群
张宝顺
姜春宇
小尺度物体内部多磁源反演技术
2024年
为解决对小尺度物体内部多个磁场源反演能力差的问题,提出了小尺度物体内部多磁源反演技术。利用原子磁强计采集磁源信号,基于弱磁理论反演磁源分布,引入分布源模型、高斯-赛德尔迭代算法优化求解过程,开展正反演模型验证。同时,采用点源模型去卷积操作提升磁源的空间分辨率,去卷积前系统空间分辨率约为10 mm,去卷积后小于4 mm。结果显示磁源反演的空间位置分布大致接近真实,验证了反演技术的正确性,可用于精密仪器内部磁源的识别应用。该研究开辟了部分精密仪器内部多磁源探测的新途径。
荀宇洁
姜春宇
王逸群
张宝顺
曾中明
吴东岷
表面等离激元纳米激光器及其制备方法
本申请提供了一种表面等离激元纳米激光器及其制备方法。该制备方法包括:在衬底上制作形成金属层和介质层,在介质层上制作形成第一对准标记,在玻璃基底上制作形成增益介质阵列和第二对准标记,将第一对准标记与第二对准标记对准并贴合,...
王健
陈辰
姜春宇
吴东岷
王逸群
曾中明
基于金刚石的氮空位色心的集成化磁力计设备
本发明公开了一种基于金刚石的氮空位色心的集成化磁力计设备。该集成化磁力计设备包括激光光源系统、微波产生装置、光电探测装置和具有氮空位色心的金刚石单元,所述激光光源系统的封装壳体上开设有通光孔,所述通光孔用于通过所述封装壳...
张伟
姜春宇
王逸群
张宝顺
杨辉
一种用于多孔吸附装置上的样品承载结构
本发明公开了一种用于多孔吸附装置上的样品承载结构,包括载板,载板包括彼此相对的承载面和结合面,承载面上设置有第一凹槽,第一凹槽的外侧设置有第一吸孔,结合面上设置有第二凹槽,第二凹槽与第一吸孔相互连通;其中,第二凹槽用于覆...
姜春宇
王逸群
尹立航
夏先海
董艳
翟豪
张宝顺
倾角传感器及其制备方法
本发明公开了一种倾角传感器及其制备方法,所述倾角传感器包括:盖板,包括第一玻璃片及嵌设于第一玻璃片中的第一硅极板;背板,包括第二玻璃片及嵌设于第二玻璃片中的第二硅极板;中间敏感层,键合于盖板与背板之间,包括框架、悬臂梁及...
张薇薇
吴东岷
姜春宇
王逸群
张宝顺
曾中明
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