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张艳

作品数:35 被引量:71H指数:4
供职机构:河北工业大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划河北省高等学校科学技术研究指导项目更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术一般工业技术化学工程更多>>
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河北工业大学
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河北工业大学信息工程学院
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河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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河北工业大学电子信息工程学院
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